パーマロイ・磁気シールド・磁界測定 ・
熱処理・磁場キャンセラーの株式会社オータマ
高性能磁気シールド材料：Mudelta ｍetal®Mudelta_metal
高度情報化社会を支える高性能磁気シールド材料とは？
オータマが実現した磁気シールド技術
磁気シールド性能を最大限に高めた『Mudelta ｍetal®』
半導体のナノレベルでの製造や量子コンピューターの開発など、最先端の技術を支える高性能磁気シールド材料『Mudelta metal®』(ミューデルタメタル)。
オータマでは磁気シールドの材料としてパーマロイ、ミューメタルを使用する際に、最大限の性能を発揮できるよう熱処理技術と計測技術を組み合わせて、高性能化に取り組んできました。
これにより微弱磁界に適するよう改質した材料を「Mudelta metal®」と名づけました。
高い磁気シールド性能を実現したことで極低温環境にも対応可能な材料となり、量子技術や超伝導加速器など幅広い分野での応用が進んでいます。
微弱磁界のイメージ
主な技術革新
1独自の熱処理技術と計測技術で最適化を達成
水素ガスを用いて金属結晶粒を成長させることで、磁気シールドに最適な状態へと材料を改質。熱処理に伴う変形を抑え、金属粒の破砕を防ぐ独自技術により高品質を維持。
『Mudelta metal🄬』が狙う透磁率領域
2独自の磁気特性計測システムの開発
極低磁界強度での透磁率を正確に測定できる市販機器がなかったため、微小磁界に対する磁気特性計測システム「μΔ(ミューデルタ)計測システム」を開発。これにより安定した品質管理を実現し、信頼性を確保。
3磁界シミュレーションとデータベース活用
豊富な熱処理データとシミュレーション技術により、ユーザーのニーズに合わせた最適な磁気シールド性能を実現。
実績データを基にしたシミュレーション
さまざまな分野に適用可能
オータマが作るナノレベル半導体製造向け磁気シールドチャンバは、高度な磁気遮蔽性能を必要とする半導体ファウンドリを中心に広く採用されています。
さらに、極低温対応グレードの『Mudelta metal®』は、超伝導加速器や量子コンピュータの超伝導量子ビットを外部磁場から守る磁気シールドとしても期待されています。大阪大学量子情報・量子生命研究センターでの実用例もあり、先端科学技術分野への波及効果は著しいものがあります。
量子コンピュータ超伝導量子ビットを守る磁気シールド例（大阪大学）
写真提供：大阪大学
※ 磁気シールド性能を向上させるためにパーマロイを改質した材料が『Mudelta metal®』です。
