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主動磁屏蔽(磁場消除器)active_magnetic_cn-t

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什麼是主動磁屏蔽(磁場消除器)

近年來,電子束裝置的高性能化進展顯著,而另一方面,磁場容許值變得越來越嚴格。主動磁屏蔽(磁場消除器)是一種利用3軸磁場控制器高靈敏度地檢測出外部干擾的變動磁場,再利用XYZ3軸構成的亥姆霍茲線圈發生將其抵消的磁場,對線圈內部的磁場變動進行控制,使其實現穩定的磁場發生器。透過採用本產品,即使在磁場環境顯著不穩定的場所,也可充分發揮電子束裝置的性能。

抵消線圈也可安裝在裝置的框架上。無需大幅占用設置半導體測量、檢查裝置等的空間。

製品

主動磁屏蔽(磁場消除器)

  • ・當地設置迅速
  • ・不會妨礙電子束裝置的操作性能
  • ・成本低
  • ・外形美觀良好
  • ・尺寸可自由設定
    (抵消線圈也可安裝在裝置的框架上)
主要用途
  • ・電子顯微鏡(TEM/SEM)
  • ・電子束光罩繪圖裝置
  • ・光罩檢查裝置
  • ・質譜分析裝置
  • ・聚焦離子束裝置(FIB)

施工方法

線圈設置方法分為建築物嵌入型、腔室內設置型、後施工(現場設置)三種。

電子顕微鏡設置例

電子顯微鏡設置事例

大型電子顕微鏡設置例

大型電子顯微鏡設置事例

性能

  獨立型 CA-4000 低噪聲型 CA-3200
用途 SEM/3D列印機等 屏蔽室內
對應頻率 0Hz~1kHz 0Hz~720Hz
最大對應變動磁場 150mG(15μT) 50mG(5μT)
衰減率 最大60dB 最大60dB
控制範圍 ± 150 μT ±70μT
感測器方式 磁通量閘門方式(分辨率:5nT) 磁通量閘門方式(分辨率:1nT)

Inquiries

Telephone inquiries

 

042-377-4311

Online inquiries

 

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