近年來,電子束裝置的高性能化進展顯著,而另一方面,磁場容許值變得越來越嚴格。主動磁屏蔽(磁場消除器)是一種利用3軸磁場控制器高靈敏度地檢測出外部干擾的變動磁場,再利用XYZ3軸構成的亥姆霍茲線圈發生將其抵消的磁場,對線圈內部的磁場變動進行控制,使其實現穩定的磁場發生器。透過採用本產品,即使在磁場環境顯著不穩定的場所,也可充分發揮電子束裝置的性能。
抵消線圈也可安裝在裝置的框架上。無需大幅占用設置半導體測量、檢查裝置等的空間。
主要用途 |
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線圈設置方法分為建築物嵌入型、腔室內設置型、後施工(現場設置)三種。
電子顯微鏡設置事例
大型電子顯微鏡設置事例
獨立型 CA-4000 | 低噪聲型 CA-3200 | |
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用途 | SEM/3D列印機等 | 屏蔽室內 |
對應頻率 | 0Hz~1kHz | 0Hz~720Hz |
最大對應變動磁場 | 150mG(15μT) | 50mG(5μT) |
衰減率 | 最大60dB | 最大60dB |
控制範圍 | ± 150 μT | ±70μT |
感測器方式 | 磁通量閘門方式(分辨率:5nT) | 磁通量閘門方式(分辨率:1nT) |