磁屏蔽・磁場測定・熱處理・磁場消除器的株式會社OHTAMA

近年來，電子束裝置的高性能化進展顯著，而另一方面，磁場容許值變得越來越嚴格。主動磁屏蔽（磁場消除器)是一種利用3軸磁場控制器高靈敏度地檢測出外部干擾的變動磁場，再利用XYZ3軸構成的亥姆霍茲線圈發生將其抵消的磁場，對線圈內部的磁場變動進行控制，使其實現穩定的磁場發生器。透過採用本產品，即使在磁場環境顯著不穩定的場所，也可充分發揮電子束裝置的性能。

抵消線圈也可安裝在裝置的框架上。無需大幅占用設置半導體測量、檢查裝置等的空間。