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主动磁屏蔽(磁场消除器)active_magnetic_cn-s

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什么是主动磁屏蔽(磁场消除器)

近年来,电子束装置的高性能化进展显著,而另一方面,磁场容许值变得越来越严格。主动磁屏蔽(磁场消除器)是一种利用3轴磁场控制器高灵敏度地检测出外部干扰的变动磁场,再利用XYZ3轴构成的亥姆霍兹线圈发生将其抵消的磁场,对线圈内部的磁场变动进行控制,使其实现稳定的磁场发生器。通过采用本产品,即使在磁场环境显著不稳定的场所,也可充分发挥电子束装置的性能。

抵消线圈也可安装在装置的框架上。无需大幅占用设置半导体测量、检查装置等的空间。

製品

主动磁屏蔽(磁场消除器)

  • ・现地设置迅速
  • ・不会妨碍电子束装置的操作性能
  • ・成本低
  • ・外形美观良好
  • ・尺寸可自由设定
    (抵消线圈也可安装在装置的框架上)
主要用途
  • ・电子显微镜(TEM/SEM)
  • ・电子束掩模绘图装置
  • ・掩模检查装置
  • ・质谱分析装置
  • ・収束离子束装置(FIB)

施工方法

线圈设置方法分为建筑物嵌入型、腔室内设置型、后施工(现场设置)三种。

電子顕微鏡設置例

电子显微镜设置事例

大型電子顕微鏡設置例

大型电子显微镜设置事例

性能

  独立型 CA-4000 低噪声型 CA-3200
用途 SEM/3D打印机等 屏蔽室内
対応周波数 0Hz~1kHz 0Hz~720Hz
最大对应变动磁场 150mG(15μT) 50mG(5μT)
衰减率 最大60dB 最大60dB
控制范围囲 ± 150 μT ±70μT
传感器方式 磁通量闸门方式(分辨率:5nT) 磁通量闸门方式(分辨率:1nT)

Inquiries

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042-377-4311

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