近年来,电子束装置的高性能化进展显著,而另一方面,磁场容许值变得越来越严格。主动磁屏蔽(磁场消除器)是一种利用3轴磁场控制器高灵敏度地检测出外部干扰的变动磁场,再利用XYZ3轴构成的亥姆霍兹线圈发生将其抵消的磁场,对线圈内部的磁场变动进行控制,使其实现稳定的磁场发生器。通过采用本产品,即使在磁场环境显著不稳定的场所,也可充分发挥电子束装置的性能。
抵消线圈也可安装在装置的框架上。无需大幅占用设置半导体测量、检查装置等的空间。
主要用途 |
|
---|
线圈设置方法分为建筑物嵌入型、腔室内设置型、后施工(现场设置)三种。
电子显微镜设置事例
大型电子显微镜设置事例
独立型 CA-4000 | 低噪声型 CA-3200 | |
---|---|---|
用途 | SEM/3D打印机等 | 屏蔽室内 |
対応周波数 | 0Hz~1kHz | 0Hz~720Hz |
最大对应变动磁场 | 150mG(15μT) | 50mG(5μT) |
衰减率 | 最大60dB | 最大60dB |
控制范围囲 | ± 150 μT | ±70μT |
传感器方式 | 磁通量闸门方式(分辨率:5nT) | 磁通量闸门方式(分辨率:1nT) |