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アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)active_magnetic

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アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)とは

近年、電子ビーム装置の高性能化は著しく、その反面磁界許容値は厳しくなる一方です。アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)は、外乱の変動磁界を3軸磁界コントローラーで高感度に検出し、それを打ち消す磁界をXYZの3軸で構成されるヘルムホルツコイルにて発生させ、コイル内部の磁界変動を制御し、安定させるために用いる磁界発生器です。本製品を導入することにより、磁界環境が著しく不安定な場所でも電子ビーム装置の性能を十分に発揮することが可能です。

打消しコイルを装置のフレームに実装することも可能です。半導体計測・検査装置などの設置エリアを大きくとる必要がありません。

製品

アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)

  • ・現地設置がスピーディー
  • ・電子ビーム装置の操作性を損なわない
  • ・ローコスト
  • ・美観が優れている
  • ・自由サイズ可能
    (打消しコイルを装置のフレームへ実装することも可能)
主な用途
  • ・電子顕微鏡(TEM/SEM)
  • ・電子ビームマスク描画装置
  • ・マスク検査装置
  • ・質量分析装置
  • ・収束イオンビーム装置(FIB)

施工方法

コイル設置方法は、建物埋め込み型、チャンバー内設置型、後施工(現場設置)の3通りがあります。

電子顕微鏡設置例

電子顕微鏡設置例

大型電子顕微鏡設置例

大型電子顕微鏡設置例

性能

  独立型 CA-4000 低ノイズ型 CA-3200
用途 SEM/3Dプリンタなど シールドルーム内
対応周波数 0Hz~180Hz 0Hz~60Hz
最大対応変動磁界 150mG(15μT) 50mG(5μT)
減衰率 33dB 33dB
制御範囲 ± 150 μT ±70μT
センサー方式 フラックスゲート方式(分解能:5nT) フラックスゲート方式(分解能:1nT)
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